※箱體尺寸：300Wx400Dx400Hm/m ※真空艙尺寸：350Wx350Hx320Dm/m ※真空箱體材質：SUS304板4m/m厚 電解拋光 ※箱體靜電粉體烤漆 ※LED數字顯示清洗艙壓指示計0~250m Torr ※LED數字顯示直流電壓指示計 ※直流電壓可調範圍0~800VDC 功率800W ※浮球式氣體流量控制器。
